「キヤノン露光装置50 周年記念ウェブサイト」を公開
2020年07月29日
 スマートフォン(スマホ)やパソコン、デジタルカメラ、ゲーム、自動車、さらには交通や通信など社会インフラにも使われているさまざまな半導体チップ。世界で年間1 兆個近く出荷されている※私たちの生活になくてはならない半導体チップが、どのように作られているか知っていますか?キヤノンは、半導体チップを作るために必要な「半導体露光装置」を1970 年から製造している。

 このたび、半導体露光装置発売開始から50 周年を記念して、「露光装置」の仕組みや性能をイラストや動画で分かりやすく説明した「キヤノン露光装置50 周年記念ウェブサイト」を公開した。さらに、自由研究にも役立つ露光の仕組みを分かりやすく紹介するキッズ向けページも用意した。
普段見ることのない「露光装置」の技術をぜひ知ってください。
URL:https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/50th/
※ 出典:IC Insights, Inc. The McClean Report 2020_Section 2. Semiconductor Market Outlook(Date Released 01/21/2020)

■半導体露光装置
 皆さんが持っているスマホには、数ミリ角の半導体チップが数多く入っている。半導体露光装置は、光を使って半導体チップの基板にナノメートル(10 億分の1 メートル)単位の微細な電気回路を描く。その装置の大きさは六畳の部屋ほどだ。キヤノンの半導体露光装置の解像力は、1 つの基板をサッカーコートの大きさと仮定すると、そこに0.2mm の細い線をびっしり描いているようなもの。
詳しくはこちら:https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/50th/technology/

■FPD(フラットパネルディスプレイ)露光装置
スマホのディスプレイを作るためにも露光装置が必要。ディスプレイも電気回路を持っており、FPD 露光装置はその電気回路を描く装置。一回の露光で65 型テレビなどの大きなディスプレイも作ることができる。そのため、装置の
大きさは幅約8 メートル、奥行き約10 メートル、高さ約5 メートル以上、基板を載せるプレートステージだけでも、アジアゾウ1 頭分の重さがある巨大装置だ。

詳しくはこちら:https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/50th/technology/

 FPD露光装置での露光イメージ

■ナノインプリント半導体製造装置
次世代半導体製造装置の「ナノインプリント半導体製造装置」。解像力は15 ナノメートル以下を実現した。シャープペンシルの0.5mm の芯に、約33,000 本の線を描けるくらいの細さ。半導体露光装置と同じく回路を描く装置だ、光で転写するのではなく、物理的に押印して回路図を描き半導体チップを作る
詳しくはこちら:https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/50th/technology/


 回転転写イメージ


■キッズ向けページ
 小学生向けに露光の仕組みを分かりやすく紹介したページも用意している光とレンズの役割についてイラスト※を使って説明しているので、イメージが湧きやすく理解しやすい内容になっている。夏休みに家族で一緒に学んでみてください!
詳しくはこちら:
https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/50th/kids/
※ 分かりやすくするためにキッズ向けページ内のイラストは簡略化している。


 キッズ向けページイメージ
 ボタンを押すとアニメーションが!


 キヤノンが、国産初の半導体露光装置「PPC-1」を1970 年に発売し、半導体露光装置事業に本格参入して今年で50 周年を迎えた。これからもキヤノンは高度な技術に磨きをかけた露光装置で社会の発展に貢献する。